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PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應用。
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