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平面光學(xué)激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2038
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中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。


產(chǎn)品型號:SJ6000

穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力:1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz

預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%

主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便


產(chǎn)品型號: SJ6800

穩(wěn)頻方式: 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度: 0.04ppm

測量距離:≤(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

測量分辨力:1nm

測量最大速度:4m/s

線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃

角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)

主要特點(diǎn):絕對測量、恒測力、無阿貝誤差


中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀測量分辨率可達(dá)0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。


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中圖激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、垂直度、角度、直線度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


如數(shù)控機(jī)床的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會(huì)使其精度下降,當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。


對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償.jpg



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