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中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)，能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能.

中圖儀器SuperViewW科研級(jí)三維白光干涉儀基于白光干涉原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)平面度檢測(cè)設(shè)備是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW國(guó)產(chǎn)3D白光干涉儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，SuperViewW1國(guó)產(chǎn)自研白光形貌干涉儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，設(shè)備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能.