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VT6000三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量。測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

VT6000材料光學(xué)共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

VT6000材料性能表征共聚焦測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像.

VT6000共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡一般用于材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

VT6000材料檢測共聚焦顯微鏡3D成像一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。