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非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-08-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:813
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中圖儀器SuperViewW非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,如在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力:單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;

2)單區(qū)域自動測量:單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

3)多區(qū)域自動測量:可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

4)自動拼接測量;支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導(dǎo)航功能,可自定義測量區(qū)域,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量;

5)編程測量功能:支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動單測量功能,實現(xiàn)一鍵測量;

6)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

7)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析;

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出:支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出;

10)故障排查功能:配置診斷模塊,可保存掃描過程中的干涉條紋圖像;

11)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

12)環(huán)境噪聲評價:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù);

13)氣浮隔振功能:采用氣浮式隔振底座,可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,確保測量數(shù)據(jù)的高精度;

14)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,當(dāng)檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

15)鏡頭安全功能:雙重防撞保護,軟件ZSTOP防撞保護,設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,不再下移且伴有報警聲;設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀


SuperViewW非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀


部分技術(shù)指標

型號W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺

標配:3孔手動

選配:5孔電動


XY位移平臺

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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