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三維形貌儀光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-07-01
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1125
詳細(xì)介紹在線留言

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

三維形貌儀光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

三維形貌儀光學(xué)輪廓儀

應(yīng)用領(lǐng)域

在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例:

三維形貌儀光學(xué)輪廓儀

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其3D重建算法,自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達(dá)亞納米級別,讓3D測量變得簡單。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。其特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺(tái)

標(biāo)配:3孔手動(dòng)

選配:5孔電動(dòng)


XY位移平臺(tái)

尺寸320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
Z向掃描范圍10 ㎜
主機(jī)尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜


懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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