福利一区福利二区刺激-久久精品99国产精品日本-日本在线观看精品视频-青青草原在线视频网址

0755-83318988
PRODUCTS CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x臺(tái)階儀NS200臺(tái)階厚度儀
臺(tái)階厚度儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NS系列臺(tái)階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

產(chǎn)品型號(hào):NS200
更新時(shí)間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:944
詳細(xì)介紹在線留言

NS系列臺(tái)階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

臺(tái)階厚度儀

它可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣。


產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1)臺(tái)階高度:NS系列臺(tái)階厚度儀能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

2)粗糙度與波紋度:能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù);

3)翹曲與形狀:能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1)自定義測(cè)量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式;

2)導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式。

3)SPC統(tǒng)計(jì)分析:支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī),可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺(tái)、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸,可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測(cè)量精度及效率。

臺(tái)階厚度儀

性能特點(diǎn)

1.亞埃級(jí)位移傳感器

具有亞埃級(jí)分辨率,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測(cè)量;

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


典型應(yīng)用

臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。

臺(tái)階厚度儀


部分技術(shù)參數(shù)

型號(hào)NS200
測(cè)量技術(shù)探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
樣品R-θ載物臺(tái)電動(dòng),360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長(zhǎng)度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺(tái)晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對(duì)濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7

關(guān)注公眾號(hào),了解最新動(dòng)態(tài)

關(guān)注公眾號(hào)
0755-83318988

Copyright © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司版權(quán)所有

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

備案號(hào):粵ICP備12000520號(hào)

欧美日韩亚洲精品内裤| 国产精品免费视频视频| 国产精品一区二区视频| 亚洲中文字幕视频在线观看| 国产午夜精品福利免费不| 人妻亚洲一区二区三区| 久久91精品国产亚洲| 亚洲内射人妻一区二区| 婷婷基地五月激情五月| 亚洲国产精品一区二区毛片| 精品少妇人妻av免费看| 亚洲av在线视频一区| 一区二区三区国产日韩| 亚洲欧美一二区日韩高清在线| 久久精品久久精品中文字幕| 亚洲欧美日韩国产自拍| 不卡一区二区在线视频| 欧美日韩亚洲国产av| 欧美尤物在线观看西比尔| 黄色国产自拍在线观看| 精品国模一区二区三区欧美| 成人午夜激情在线免费观看| 国产老女人性生活视频| 久久精品免费视看国产成人| 欧美熟妇喷浆一区二区| 丰满人妻一二区二区三区av| 国产精品亚洲欧美一区麻豆| 福利专区 久久精品午夜| 国产精品涩涩成人一区二区三区| 久久综合狠狠综合久久综合| 欧美黄色黑人一区二区| 偷拍美女洗澡免费视频| 亚洲精品一二三区不卡| 男生和女生哪个更好色| 国产在线观看不卡一区二区| 亚洲国产精品肉丝袜久久| 亚洲熟妇av一区二区三区色堂| 在线亚洲成人中文字幕高清| 九九热精品视频在线观看 | 欧美日韩精品久久亚洲区熟妇人| 国产美女网红精品演绎|