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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x白光干涉儀SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀
三維白光干涉表面形貌儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè),可用于成品質(zhì)量的管理,確保良品合格率。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1463
詳細(xì)介紹在線留言

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

531.jpg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

新建項(xiàng)目2.jpg

SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè),可用于成品質(zhì)量的管理,確保良品合格率。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便,只需要操作者裝好被測(cè)工件,在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù),把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面,選擇自動(dòng)聚焦后,儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像,一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺(tái)

標(biāo)配:3孔手動(dòng)

選配:5孔電動(dòng)


XY位移平臺(tái)

尺寸320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
Z向掃描范圍10 ㎜
主機(jī)尺寸(長(zhǎng)×寬×高)700×606×920㎜


應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

具體應(yīng)用:

在3C領(lǐng)域,可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

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