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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀白光干涉儀SuperViewW1中圖白光干涉儀
中圖白光干涉儀

產(chǎn)品簡介

中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1216
詳細(xì)介紹在線留言

中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

未標(biāo)題-9.jpg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用范例.jpg


性能參數(shù)

型號(hào)

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標(biāo)準(zhǔn)視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺(tái)

尺寸
320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
形貌重復(fù)性0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
臺(tái)階測量

準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機(jī)尺寸700×606×920㎜


性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性;

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),最大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

tu1.jpg


白光干涉儀采用的光學(xué)非接觸式測量方法,以及具有的測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),加上其光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。中圖白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

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