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光學3D白光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1光學3D白光干涉儀?分辨率0.1μm,重復性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)??梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1664
詳細介紹在線留言

中圖儀器SuperViewW1光學3D白光干涉儀采用光學非接觸式測量方法實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點,加上其光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。


產(chǎn)品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


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結構特點

1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動的影響,還可以降低高精度量測時的噪聲,提高超光滑表面的測試精度。

2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面,自動智能配置測試參數(shù),使原來麻煩的“找條紋",“選擇測試參數(shù)"過程,在一分鐘之內(nèi),自動完成。

3.雙重防撞保護功能,除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),能保護樣品和設備的安全。


軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉等操作調(diào)整圖像位置;

提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正;

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量;

提供點、線、圓弧、角度等特征測量,以及直線度、真圓度等形位公差評定,為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能;

提供基于表面的紋理分析,方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性;

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能;

提供頻譜分析功能,可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等;

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能;

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D,3D參數(shù)。

(3) 可視化的工作流模式,數(shù)據(jù)處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖,在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度,3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征,并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案,可對特定表面進行一鍵分析,自動生成一組分析結果,節(jié)約操作時間;并可自定義方案,將用戶的分析項目組合起來,避免重復操作。

(6) 便捷的同步分析功能,可實時提取表面二維剖面,同步計算更新參數(shù)指標,實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報表形式,用戶可根據(jù)需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。


薄膜粗糙度測量

超精密加工


SuperViewW1光學3D白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)??梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

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