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光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡

產(chǎn)品簡介

以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品型號:VT6100
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1313
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中圖儀器VT6000系列光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能:

粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;

幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;

結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;

頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;

功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。


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以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。



產(chǎn)品功能

1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;

2)一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

3)提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。


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