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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x白光干涉儀微米級(jí)白光干涉儀
微米級(jí)白光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1微米級(jí)白光干涉儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1558
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光學(xué)器件,例如各種光學(xué)鏡片和玻璃,屬于超精密加工的產(chǎn)物,因此其表面質(zhì)量等級(jí)很高。一般的非接觸式光學(xué)影像方法沒(méi)有辦法客服其高透明度,中圖儀器SuperViewW1微米級(jí)白光干涉儀為光學(xué)鏡片和玻璃的表面質(zhì)量檢測(cè)提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。


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SuperViewW1微米級(jí)白光干涉儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中;

可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。


產(chǎn)品性能

縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速:50FPS/s

粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)

光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)

至大點(diǎn)數(shù):1048576(標(biāo)準(zhǔn))

臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ


應(yīng)用示例

玻璃表面臺(tái)階檢測(cè)

  下圖為透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,需要測(cè)膜層的厚度,由于其非透明的特性,薄膜測(cè)厚儀無(wú)法進(jìn)行測(cè)量,而由于其膜層厚度精度在納米級(jí)別,接觸式的臺(tái)階儀和其它的非接觸式光學(xué)儀器也存在測(cè)量誤差較大的風(fēng)險(xiǎn),而以光學(xué)干涉原理為基礎(chǔ)研制成的中圖儀器白光干涉儀,以其亞納米級(jí)別的測(cè)量精度,則可對(duì)該膜層厚度進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。


650對(duì)兩臺(tái)階高的檢測(cè).jpg

對(duì)兩臺(tái)階高的檢測(cè)


上圖是利用軟件的自動(dòng)面臺(tái)階高檢測(cè)功能對(duì)重建的3D圖像兩臺(tái)階高進(jìn)行檢測(cè),從數(shù)值可知,兩臺(tái)階面平均高度差為82nm,而至大高度差90nm,至小高度差為78nm。


【玻璃屏檢測(cè)】

玻璃屏常見(jiàn)于我們?nèi)粘K玫闹悄墚a(chǎn)品中,例如智能手機(jī)、智能手表,還有平板電腦等,為了獲得更好的觸屏體驗(yàn),需要對(duì)玻璃屏的表面粗糙度和微觀(guān)輪廓進(jìn)行檢測(cè)。以手機(jī)玻璃屏為例,說(shuō)明光學(xué)3D表面輪廓儀在其中的應(yīng)用: 


650玻璃屏表面粗糙度檢測(cè).jpg

玻璃屏表面粗糙度檢測(cè)


如上圖,選取的測(cè)量區(qū)域發(fā)現(xiàn)了一條寬6um,深6nm的肉眼無(wú)法觀(guān)測(cè)到的劃痕,玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。

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