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中圖光學(xué)輪廓測量儀

產(chǎn)品簡介

中圖光學(xué)輪廓測量儀直觀的操作界面,讓您對操作流程一目了然,自動聚焦,助您一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量不用愁。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1624
詳細(xì)介紹在線留言

中圖光學(xué)輪廓測量儀直觀的操作界面,讓您對操作流程一目了然,自動聚焦,助您一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量不用愁。


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取



中圖光學(xué)輪廓測量儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計,可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。


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