SJ6000激光干涉儀檢測導(dǎo)軌運動精度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。
GTS國產(chǎn)超精密激光跟蹤儀測量系統(tǒng)集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理,同時具有μm級別精度、百米工作空間,主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量,是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機。
中圖儀器SJ6000機床校準(zhǔn)激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀檢測數(shù)控車床集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,它以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
GTS國產(chǎn)超精密激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量,集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體,在大尺度空間測量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高的精度和重要性,是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。
SJ6000高靈敏度超精密激光干涉儀是利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。它集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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