NS系列接觸式臺階儀品牌是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。
中圖儀器VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦激光顯微鏡以共聚焦技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,臺階儀測試薄膜厚度采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀光學輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
NS系列臺階儀探針式表面輪廓儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡國產(chǎn)品牌以共聚焦技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。儀器結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
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