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為什么激光共聚焦顯微鏡成像質(zhì)量更好?

更新時(shí)間:2023-08-22點(diǎn)擊次數(shù):1017

激光共聚焦顯微鏡原理是由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)一個(gè)多孔盤(pán)和物鏡后,聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測(cè)量系統(tǒng)。再次通過(guò)MPD上的針孔時(shí),反射光將只保留聚焦的光點(diǎn)。最后,光束經(jīng)分光片反射后在相機(jī)上成像。

 

 

為什么激光共聚焦顯微鏡成像質(zhì)量更好?

1、激光共聚焦顯微鏡采用了激光掃描技術(shù)。與傳統(tǒng)顯微鏡的廣譜光源相比,激光掃描技術(shù)能夠精確定位和聚焦在樣品的特定區(qū)域,從而提高成像的分辨率和準(zhǔn)確性。同時(shí),激光掃描技術(shù)可以消除樣品中的散射和背景信號(hào),從而提高成像的對(duì)比度。同時(shí),激光的單色性使得成像更清晰。

 

2、激光共聚焦顯微鏡具有較大的光學(xué)孔徑(顯微鏡接收到樣品發(fā)出的光的能力)和高數(shù)值孔徑物鏡(鏡頭的放大倍數(shù)),使成像更清晰細(xì)致。

 

3、激光共聚焦顯微鏡使用的是探測(cè)元件是高靈敏度的光電倍增管,對(duì)微弱的熒光信號(hào)可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度,并且還可以通過(guò)縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來(lái)消除背景噪聲。配備高靈敏度的光電二極管探測(cè)器,使得激光共聚焦顯微鏡能夠快速并精確地檢測(cè)光信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

與傳統(tǒng)的光學(xué)觀察不同,光電二極管探測(cè)器可以實(shí)現(xiàn)單個(gè)光子的檢測(cè),使得成像更加敏感和準(zhǔn)確。這種高靈敏度的探測(cè)器在低光強(qiáng)條件下也能夠獲得清晰的圖像。

 

VT6000激光共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理,具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動(dòng)測(cè)量功能,能實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化測(cè)量,并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對(duì)表面質(zhì)量進(jìn)行表征。

圖片2.jpg

VT6000激光共聚焦顯微鏡依托弱光信號(hào)解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。如:

1.對(duì)太陽(yáng)能電池片微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維形貌重建:

圖片3.jpg

2.快速重建出被測(cè)晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息:

圖片4.png

3.對(duì)光學(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化測(cè)量,提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對(duì)表面質(zhì)量進(jìn)行表征:

圖片5.png

 

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