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激光干涉儀相關知識概述

更新時間:2021-05-08點擊次數(shù):2057
   激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。
  
  激光具有三個重要特性:  
  1、激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。
  
  2、激光波長非常短,可以用于高精度測量。
  
  3、激光具有干涉特性。
  
  光的干涉  
  1、光具有波粒二象性。
  
  2、兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區(qū)域始終加強,在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強弱分布的現(xiàn)象。
  
  3、產生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩(wěn)定干涉。由兩個普通獨立光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。
  
  中圖儀器SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

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